■ 1枚入ウェハーケース

　商品名：プロトスRキャリアMAシリーズ

品　番

MA-12/ONE-SP(セパレート式青クリップ)
MA-12/ONE-FX(固定式黒クリップ)

特　長

・	12インチウェハーを1枚で安全に搬送できます。クリーンで低アウトガスの導電材料（STポリ）を採用しているため、保管時のアウトガスも安全です。オプションの真空整形トレイを使用することで8インチウェハーにも対応します。

表面
抵抗値

1×10⁶Ω/□以下

材質

導電性ポリカーボネイト

■ ウェハー搬送ケース

　商品名：プロトスRキャリアMAシリーズ

品　番

MA-5(5インチキャリア)
MA-6(6インチキャリア)
MA-6S(6インチスリムキャリア)
MA-8(8インチキャリア)
MA-8S(8インチスリムキャリア)
MA-12(12インチキャリア)

特　長

・	二重構造設計で耐衝撃性が高く、内部のウェハーを厳重に保護します。
・	自動機(ロボット)でウェハーの出し入れが出来ます。
・	蓋裏に3.5インチデータフロッピーの収納可。 (8インチのみ)
・	蓋と本体は回転脱着式です。
・	段積みが可能。

表面
抵抗値

1×10⁶Ω/□以下

材質

導電性ポリプロピレン

　商品名：プロトスRキャリアNDシリーズ

品　番

ND-6(6インチウェハー用ダイシングフレーム対応)
ND-8(8インチウェハー用ダイシングフレーム対応)

特　長

・	ダイシングフレーム付ウェハー梱包の手間を簡略化し、作業効率をアップします。
・	ダイシングフレーム付ウェハーを最大13枚積層可能です。
・	ダイシングフレーム用ストッパー付 (フレームの種類により異なります)
※	6、8インチのダイシングフレーム付ウェハーに対応したクッション材及びスペーサーもご用意しております。詳しくはお問い合わせ下さい。

表面
抵抗値

1×10⁶Ω/□以下

材質

導電性ポリプロピレン

包装例

主要寸法

■ クッション材

　商品名：プロトスRクッション

■PUタイプ（帯電防止）
品　番	MA-4U-5/10/15/20(4インチ用)　　 MA-5U-5/10/15/20(5インチ用)　　 MA-6U-5/10/15/20(6インチ用) MA-8U-5/10/15/20(8インチ用) MA-12U-5/10/15/20(12インチ用)
特　長	緩衛性に優れている静電気対策クッションです。
表面抵抗値	8×10¹¹Ω/□以下(22℃、40%RH)
規　格	クッション厚みは5mm、10mm、15mm、20mm、の 4種類あります。
材質	帯電防止ポリウレタン

■PEタイプ（導電性）
品　番	MA-4PESD-1/3/5/10(4インチ用) MA-5PESD-1/3/5/10(5インチ用) MA-6PESD-1/3/5/10(6インチ用) MA-8PESD-1/3/5/10(8インチ用) MA-12PESD-1/3/5/10(12インチ用)
特　長	緩衛性に優れ、低イオンコンタミの導電性クッションです。
表面抵抗値	1×10⁶Ω/□以下(22℃、40%RH)
規　格	クッション厚みは1mm、3mm、5mm、10mm、の 4種類あります。
材質	導電性ポリエチレン

■ スペーサーシート

　商品名：プロトスRスペーサー

品　番 MAタイプ	MA-4-65/120/230 MA-5-65/120/230 MA-6-65/120/230 MA-8-65/120/230/100N　　 MA-12-65/120/230/100N
特　長	発塵性に少ない弊社開発のST-Fiberを配合した導電性シートです。自動機(ロボット)対応
表面抵抗値	1×10⁶Ω/□以下(22℃、40%RH)
規　格	シート厚みは50μm、100μm、200μm、の3種類あります。
材　質	導電性オレフィン系樹脂

品　番 PEAタイプ	PEA4-350 PEA5-350 PEA6-350 PEA8-350 PEA12-350
特　長	低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された新しいスペーサーです。
表面抵抗値	1×10¹¹Ω/□以下
規　格	シート厚みは100μm、エンボス高さ含み350μm
材　質	導電性ポリエチレン

品　番	CRO-4-150/400 CRO-5-150/400 CRO-6-150/400 CRO-8-150/400 CRO-12-150/400
特　長	低パーティクル・低イオンコンタミで静電気対策された新しいスペーサーです。
表面抵抗値	1×10⁶Ω/□以下
規　格	シート厚みは100μm、エンボス高さ含み150μ シートの厚みは70μ、エンボス高さ含み400μ
材　質	導電性ポリエチレン